Fuentes de radiación de excímeros
Compact Excimer
El sistema “Bluelight Compact Excimer” está constituido por el emisor (disponible en varias potencias radiantes y longitudes) y por la fuente de alimentación eléctrica.
El “BlueLight Compact” es un sistema económico y sencillo para las aplicaciones que requieren del uso de radiación ultravioleta de vacío (UVV) a 172 nm. Además posee otras ventajas como son su pequeño tamaño, flexibilidad, no necesita de tiempo de calentamiento ni sistema de refrigeración forzada y, debido a su emisión casi-monocromática, evita la emisión de calor en forma de IR.
Algunas aplicaciones existentes de este sistema son:
- Limpieza de superficies (p.e. wafers en la industria de semiconductores o de pantalla planas
- Purificación de gases.
- Activación de superficies (cambios en la energía superficial)
- Generación de ozono.
- Purificación de agua y mineralización de compuestos orgánicos (agua ultrapura)
- Aplicaciones fotoquímicas.
- Micro-fotolitografiado.
